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  赶在2023年底,荷兰光刻机龙头阿斯麦交付了首台高孔径极紫外光刻机,意味着全球半导体行业朝着2nm迈出关键的一步。
(来源:X)
  随着英特尔信誓旦旦地表示2024年将进入2nm工艺量产,投资市场也在紧张关注半导体行业的机会。摩根士丹利在最新出炉的2024年主题投资报告中,也将英特尔、中微公司列入“全球24大看涨股名单”。
  不过就在市场聚焦于一众光刻机生产商、芯片生产商时,多家材料和化工厂商开始跳出来提醒投资者们:在2nm时代,我们的作用将更加重要!
  此话怎讲?
  在最新公布的采访中,美股上市公司英特格(Entegris)的首席技术官詹姆斯·奥尼尔提到,在当前实现先进生产工艺的过程中,占据舞台中心的不再是制造芯片的机器,而是先进材料和清洁解决方案。
  奥尼尔表示:“三十年前,一切都与光刻机使晶体管变小(提高性能)有关,到了今天,宣称材料创新是提高性能的主要驱动力会是一个坚实的主张。”
  德国默克集团(Merck)的电子业务首席执行官Kai Beckmann虽然话讲得没有那么直白,但也认可了这种观点。Beckmann表示,现在电子行业正在从过去二十年里依靠工具推进技术的时代,转向所谓“材料时代”的下一个十年。
  对于有望在2025年大规模量产的2nm芯片而言, 芯片的设计本身正变得更加复杂。在人类突破22nm节点时,传统的平面型晶体管开始被鳍式结构(FinFET)代替,到了3nm节点,全环绕栅极晶体管(Gate-All-Around FET)又成为了业界的首选方案。从示意图上也能看出,现在芯片里的晶体管正在以更加复杂的方式堆叠。
(三种结构示意图,来源:三星)
  存储芯片那一块就更容易解释了,三星、SK海力士和美光等厂商正在3D NAND领域展开竞争——比谁的芯片叠层更多。目前这三家公司生产的芯片层数已经能叠到230层,正努力在1至2年内突破300层。堆叠的层数更多,存储的容量也就更大。与此同时,业内也在积极探索3D闪存芯片的发展。
  在这两个领域取得进一步的发展不仅需要更加复杂的光刻机,还需要全新的尖端材料。
  奥尼尔将应用于3D晶体管的化学品比喻为“坐在直升机上给纽约市喷漆”——需要能够控制喷在建筑顶部、侧面和水平街道上的材料属性,完事儿后还要有清理街道的能力。对于GAA等新的晶体管结构而言,也需要开发新的创新材料,确保均匀地覆盖顶部、底部和侧面。目前材料行业正在想办法从原子尺度上实现这一点。
  化学品变得更加重要的另一个原因是基于生产的良率,这对于芯片公司的商业竞争力至关重要。奥尼尔表示,高纯度化学品对于确保无瑕疵的生产和最小化缺陷至关重要。
  Beckmann也举了另一个例子:当前芯片制造过程中,铜被广泛用作导电层,但为了制造更小更先进的芯片,行业正在探索像钼这样的新材料。
  当然,创新这两个字与便宜通常没有关系。根据目前业界的预期,单个2纳米晶圆的成本可能高达3万美元,比起目前最尖端的iPhone 15 Pro处理器(3nm)高出50%。与目前的AI行业类似,强者愈强很有可能仍是这个行业的基调。
  英特格的首席执行官伯特兰·洛伊总结称,这是一个高度资本密集的行业。他预计相同的趋势将延续——体量较大的公司将变得更强大,并且愿意继续投资,因为这将是他们竞争优势的来源。
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