アスマとSKハイニックスはEUVリソグラフィ機の水素回収技術の開発で協力する予定

寒郁轩良 · 发表于 2023-12-13 10:35:40

【アスマとSKハイニックスはEUVフォトリソグラフィによる水素回収技術の開発で協力する予定】韓国産業通商資源部は12月13日、オランダに本社を置くアスマ社（ASML）が韓国のチップメーカーとの業務提携を拡大する計画を明らかにした。ASMLは三星電子と共同で1兆ウォン（約7億4000万ユーロ）を投資して韓国にチップ研究センターを建設する計画であるほか、韓国第2位のチップメーカーSKハイニックスと了解覚書を締結し、極紫外線リソグラフィ機で使用される水素を回収する技術を開発し、極紫外線リソグラフィ機のエネルギー消費を削減する。

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アスマとSKハイニックスはEUVリソグラフィ機の水素回収技術の開発で協力する予定

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